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zygo干涉仪工作原理

来源:  发布时间:2019-6-19 9:16:54  点击量:

 

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美国ZYGO

美国ZYGO白光干涉仪 3D表面轮廓仪NewView 7100
  • 美国ZYGO白光干涉仪 3D表面轮廓仪NewView 7100

美国ZYGO白光干涉仪 3D表面轮廓仪NewView 7100

简介:NewView 7100白光干涉仪是高性价比非接触式表面轮廓仪。NewView 7100表面轮廓仪以其极高的精密度和准确度定性和定量地反映出样品的表面粗糙度、台阶高度、关键部位的尺寸以及样品的形貌。
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详细说明

 

仪器介绍:
NewView 7100白光干涉仪是高性价比非接触式表面轮廓仪。NewView 7100表面轮廓仪以其极高的精密度和准确度定性和定量地反映出样品的表面粗糙度、台阶高度、关键部位的尺寸以及样品的形貌。测量过程精密,高速,非接触,且样品无需特殊处理。在高速扫描状态下纵向测量范围可以从小于1nm至20000μm,基于ZYGO 专利的扫描技术。无论怎样的表面形貌,放大倍数以及台阶特性,NewView 7100系列只需一次扫描即可达到0.1nm的纵向分辨率,并获得所有的被测参数。


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